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“...Nesta tese discorremos sobre crescimento e caracterização de filmes finos de carbeto de silício...”
Análise das propriedades químicas, morfológicas e estruturais de filmes finos de a-Si1-xCx:H depositados por PECVD.
Tese
2
“...Nesta dissertação discorremos acerca do crescimento e caracterização de filmes finos de carbeto...”
Propriedades químicas e morfológicas de filmes hidrogenados de carbeto de silício amorfo.
Dissertação