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Deposição de A/N por sputtering não reativo
Por
Damasceno, Eduardo Moreira
Publicado em 2011
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Dissertação
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Instituição de defesa
UFRN
1
Bases coletadas
Repositório Institucional da UFRN
1
Programa de Pós-Graduação
Programa de Pós-Graduação em Física
1
Autor
Damasceno, Eduardo Moreira
1
Orientador(a)
Feitosa, Carlos Chesman de Araújo
1
Tipo de documento
Dissertação
1
Tipo de acesso
openAccess
1
Idioma
Português
1
Assunto
Nanofilmes
1
Nitreto de alumínio
1
Sputtering
1
Assunto em inglês
Aluminum nitride
Nanofilms
1
Sputtering
Área do conhecimento CNPq
FISICA
1
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