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Assuntos:
“...Engenharia de materiais...”
Deposição e caracterização de filmes finos TaA1N por magnetron sputtering reativo
Dissertação
2
Assuntos:
“...Materiais...”
Influência do teor de silício em filmes finos de nitreto de zircônio depositados por magnetron sputtering reativo
Tese