1
Assuntos:
“...Deposição química de vapor...”
Contribuição a modelagem computacional de reatores de deposição quimica a partir da fase vapor visando o crescimento de diamante
Tese
2
Assuntos:
“...Deposição química de vapor...”
Implementação de um sistema LPCVD vertical para obtenção de filmes finos de silicio policristalino
Dissertação
3
Assuntos:
“...Deposição química de vapor...”
Estrategias para obtenção de precursores unicos para a deposição de Nb2O5 ZrO2 e CuO por deposição quimica de vapor por metalorganicos
Tese
4
Assuntos:
“...Deposição química de vapor...”
Intercalação de ferro em grafeno CVD crescido sobre Ir(111)
Dissertação
5
Assuntos:
“...Deposição química de vapor...”
Contribuição ao crescimento e caracterização do diamante dopado visando futuras aplicações em eletronica
Tese
6
Assuntos:
“...Deposição química de vapor...”
Contribuição ao projeto de construção de um reator para a sintese de diamante
Dissertação
7
Assuntos:
“...Deposição química de vapor...”
Desenvolvimento de um gerador de plasma de microondas para uso em CVD e sua aplicação na sintese de filmes de carbono amorfo hidrogenado
Tese
8
Assuntos:
“...Deposição química de vapor...”
Preparação e testes cataliticos com o catalisador do tipo Ziegler TiCl4/TiO2red. suportado em silica gel
Tese
9
Assuntos:
“...Deposição química de vapor...”
Desenvolvimento de um reator para o crescimento de filmes diamantiferos tubulares
Dissertação
10
Assuntos:
“...Deposição química de vapor...”
Desenvolvimento de filmes de silicio-germanio para aplicações em dispositivos MOS
Tese
11
Assuntos:
“...Deposição química de vapor...”
Modelo microscopico de interação molecular para simular reações na fase gasosa e de interação gas/suérficie durante e deposição de filmes finos de diamante em reatores de filamento...
Tese
12
Assuntos:
“...Deposição química de vapor...”
Obtenção e caracterização de filmes finos e ultra-finos de oxido e oxinitreto de silicio em sistema "home-made" de plasma remoto
Tese
13
Assuntos:
“...Deposição química de vapor...”
Estudo da tensão residual de filmes de diamante em diversos substratos
Dissertação
14
Assuntos:
“...Deposição química de vapor...”
Projeto e construção de um reator para produção de nanoestruturas de carbono : síntese e caracterização de esferas de carbono produzidas a partir de resíduo da destilação molecular...
Dissertação
15
Assuntos:
“...Deposição química de vapor...”
Transistor de efeito de campo (FET) para detecção quimica e bioquimica utilizando dieletrico de porta constituido de camada empilhada SiNx/SiOxNy
Dissertação
16
17
Assuntos:
“...Deposição química de vapor...”
Tecnologia LOCOS utilizando nitretos de silicio depositados por ECR-CVD
Dissertação
18
Assuntos:
“...Deposição química de vapor...”
Obtenção e caracterização de filmes finos de oxido, nitreto e oxinitreto de silicio por deposição ECR-CVD
Dissertação