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Difração de raios X
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1
Filmes finos dielétricos para dispositivos microeletrônicos avançados
Por
Krug, Cristiano
Publicado em 2003
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Tese
2
Avaliação das propriedades físico-químicas, mecânicas e tribológicas de filmes finos de VC, Si3N4 e TiN/Ti
Por
Aguzzoli, Cesar
Publicado em 2011
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Tese
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Instituição de defesa
UFRGS
2
Bases coletadas
Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da UFRGS
2
Autor
Aguzzoli, Cesar
1
Krug, Cristiano
1
Orientador(a)
Baumvol, Israel Jacob Rabin
2
Tipo de documento
Tese
2
Tipo de acesso
openAccess
2
Idioma
Português
2
Assunto
Difração de raios X
Alumínio
1
Deposição por sputtering
1
Espectrometria de retroespalhamento rutherford
1
Feixes de íons
1
Filmes finos
1
Mais ...
Filmes finos dieletricos
1
Materiais nanoestruturados
1
Mosfet
1
Nanocompósitos
1
Nanoindentação
1
Nitretação
1
Reações químicas
1
Recozimento
1
Silício
1
Tratamento térmico
1
Óxidos
1
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