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1
Implantação iônica por imersão em plasma - IIIP - de argônio, nitrogênio e hélio em hexametildissilazano polimerizado a plasma
Por
Batocki, Regiane Godoy de Santana [UNESP]
Publicado em 2009
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Tese
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Instituição de defesa
Universidade Estadual Paulista (UNESP)
1
Bases coletadas
Repositório Institucional da UNESP
1
Autor
Batocki, Regiane Godoy de Santana [UNESP]
1
Tipo de documento
Tese
1
Tipo de acesso
openAccess
1
Idioma
Português
Assunto
Implantação iônica
1
Ion implantation
1
Plasma (Gases ionizados)
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