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Assuntos:
“...Filme fino de cobre...”
Obtenção de filmes finos de cobre por gaiola catódica em vidro e tecido analisando o jato interno e externo variando a espessura da tampa e os parâmetros de deposição
Dissertação
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Assuntos:
“...Filmes finos de TiN...”
Caracterização do efeito da corrente e temperatura na estequiometria dos filmes finos de TiN depositados por Gaiola catódica e Magnetron sputtering
Tese
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Assuntos:
“...Filmes finos de TiN...”
Influência dos parâmetros de processo na deposição de nitreto de titânio por plasma em gaiola catódica
Dissertação