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Assuntos:
“...Filmes finos...”
Desenvolvimento de um sistema a jato de plasma obtido em cátodo oco para deposição de filmes finos
Dissertação
2
Assuntos:
“...Filmes finos. Magnetron sputtering. Espectroscopia de emissão Óptica...”
Construção de um aparato experimental para monitoramento in situ da deposição de filmes finos de titânio por magnetron sputtering
Dissertação
3
Assuntos:
“...Filmes finos...”
Desenvolvimento e caracterização de dispositivos para reposição de filmes finos por descarga em cátodo oco
Tese
4
Assuntos:
“...Plasma. Cátodo-oco. Deposição. Filmes finos. Espectroscopia de emissão óptica...”
Diagnóstico de plasma de cátodo oco: análise da ação de plasma de argônio e Ar-H2 para a deposição de filmes finos de titânio em pós-descarga
Dissertação
5
Assuntos:
“...Filmes finos...”
Construção, caracterização e aplicação de eletrodos para descarga por arco de cátodo oco
Tese
6
Assuntos:
“...Filmes finos de TiN...”
Influência dos parâmetros de processo na deposição de nitreto de titânio por plasma em gaiola catódica
Dissertação
7
Assuntos:
“...Gaiola catódica. Superfície duplex. Nitretação a plasma. Filmes finos de TiN. Aço inoxidável...”
Estudo da viabilidade técnica para obtenção de superfície duplex em aço inoxidável martensítico AISI 410 através do processo de deposição a plasma por gaiola catódica
Dissertação