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Deposição e caracterização de filmes finos TaA1N por magnetron sputtering reativo
Dissertação
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Assuntos:
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Dissertação
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Assuntos:
“...Magnetron sputtering reativo...”
Influência da temperatura do substrato na estrutura de filmes finos de ZrxSi1-XN depositados por magnetron sputtering reativo
Dissertação
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Assuntos:
“...Magnetron sputtering reativo...”
Influência do teor de Hf em filmes finos de Zr e ZrN depositados por magnetron sputtering
Dissertação
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Assuntos:
“...Magnetron sputtering...”
Influência do teor de silício em filmes finos de nitreto de zircônio depositados por magnetron sputtering reativo
Tese
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Assuntos:
“...Sputtering...”
Deposição e caracterização de filmes finos de NbAIN por magnetron sputtering reativo
Dissertação
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Assuntos:
“...Magnetron sputtering reativo...”
Deposição e caracterização de filmes finos de ZrMoN por magnetron sputtering reativo
Dissertação