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Assuntos: ...Sputtering reativo...

Filmes de alumina depositados por metodologia híbrida de plasma

Publicado em 2019
Dissertação

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Assuntos: ...Sputtering...

Deposição de A/N por sputtering não reativo

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Assuntos: ...Filmes finos. Magnetron sputtering. Espectroscopia de emissão Óptica...

Construção de um aparato experimental para monitoramento in situ da deposição de filmes finos de titânio por magnetron sputtering

Publicado em 2011
Dissertação