Ataque quimico seletivo do silicio excitado por laser de Hene

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 1988
Autor(a) principal: Thim, Gilmar Patrocinio
Orientador(a): Não Informado pela instituição
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Dissertação
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: [s.n.]
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
Silício
Fotolitografia
Semicondutores
Link de acesso: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1579159
Resumo: Orientador : Vitor Baranauskas
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