Desenvolvimento de um gerador de plasma de microondas para uso em CVD e sua aplicação na sintese de filmes de carbono amorfo hidrogenado

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 2004
Autor(a) principal: Miyao, Yamato
Orientador(a): Não Informado pela instituição
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Tese
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: [s.n.]
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
Deposição química de vapor
Filmes finos de diamantes
Plasma de microondas
Link de acesso: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1597382
Resumo: Orientador : Edmundo da Silva Braga
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