Em direção a uma tecnologia híbrida de meso-sistemas sensores e atuadores com cerâmicas verdes: propostas e realizações. - Góngora Rubio, Mario Ricardo (1999)
A meta desta pesquisa é a de acessar a tecnologia MST - Micro System Technology - de forma híbrida. Neste trabalho propõe-se uma tecnologia híbrida usando LTCC - Low Temperature Cofire Ceramic - de cerâmicas verdes a qual associada à tecnologia de filmes espessos e silício, surge como uma alternativa interessante, viável e barata para a fabricação de dispositivos MEMS - Micro Electro-Mechanical Systems - e microsistemas em meso-escala. Os objetivos básicos propostos para serem realizados neste trabalho são os seguintes: - Desenvolvimento de uma tecnologia para meso-sistemas utilizando a tecnologia LTCC usada correntemente em circuitos híbridos multicamada para MCM - Multi Chip Module. - Utilização desta tecnologia, associada às técnicas MEMS tradicionais para a implementação de sensores e atuadores híbridos, com possíveis aplicações na área de micro-fluídica. - Implementação e caracterização dos seguintes sensores e atuadores: - sensor de Proximidade; - Dispositivos fluídicos e sensor de vazão; - Microválvula eletromagnética. Esta área encontra-se em desenvolvimento intenso e os resultados iniciais obtidos mostram que a forma híbrida de realizar meso-sistemas apresenta um futuro promissor.