• Ano de defesa: 2003
• Autor(a) principal: Souza, Silvana Gasparotto de
• Orientador(a): Furlan, Rogerio, Silva, Maria Lucia Pereira da
• Tipo de documento: Tese
• Tipo de acesso: Acesso aberto
• Idioma: por
• Instituição de defesa: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertacoes da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica
• Palavras-chave em Português: Microeletrônica; Produtos químicos (Concentrações); Silício; Chemicals (Concentrations); Microelectronics; Silicon
• Link de acesso: https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13052026-104644/

Este trabalho teve como objetivo o estudo da viabilidade técnica do uso de microcanais para a retenção de compostos orgânicos apolares presentes em fase gasosa. Desenvolveu-se vários tipos de microestruturas e dois aparatos para caracterização. Duas faixas de concentração - 10.000 e 1000 ppm, respectivamente - de n-hexano em nitrogênio ou hélio foram usadas para avaliação das microestruturas. Foi possível construir microcanais em silício utilizando-se técnicas simples encontradas na Microeletrônica. A microestrutura que se mostrou mais adequada apresenta microcanais, com seção transversal retangular com cerca de 100 µm de largura 30 µm de altura, em uma estrutura de espiral entrelaçada e comprimento total do canal de cerca de 30 cm. É feita a selagem desses microcanais, por soldagem anódica com vidro. No vidro são também usinados mecanicamente portos de entrada e saída. Estas microestruturas tiveram a superfície modificada, para os testes de retenção, por filme adsorvente, desenvolvido por A. M. Nakazawa. Os testes demonstraram que o composto orgânico foi eficientemente retido, tanto em alta quanto em baixa concentração, em microestruturas sem nenhuma modificação superficial. A adição do filme adsorvente não modificou o comportamento da microestrutura. Para altas concentrações a retenção se dá principalmente por efeito de capilaridade, para baixas concentrações, como demonstrado por simulação utilizando programa Ansys, variações da velocidade do fluxo internamenteao microcanal favorecem a retenção. O uso de microcanais na concentração de produtos químicos mostrou-se promissor.