Caracterização nanoestrutural de filmes finos do grupo IV-B depositados por sputtering magnetron

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 2002
Autor(a) principal: Chinaglia, Eliane de Fátima
Orientador(a): Não Informado pela instituição
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Tese
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
Atomic microscope
Filmes finos
Microestrutura
Microscópio de força atômica
Microstructure
Sputtering
Thin films
Link de acesso: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-03092012-160913/
Resumo: Correlações do tipo processo-estrutura-propriedade de filmes têm sido objeto de extensos estudos já a várias décadas, tanto do ponto de vista científico como tecnológico. Mais recentemente, atenção crescente tem sido dada a filmes cada vez mais finos, principalmente para atender as necessidades de novas tecnologias. Para compreender melhor a correlação processo-estrutura, vários pesquisadores propuseram Modelos de Zonas Estruturais para filmes com espessuras, tipicamente, de algumas unidades a dezenas de micrometros. Neste trabalho, propomos Modelos de Zonas Estruturais para filmes finos de elementos do Grupo IV-B (Ti, Zr e Hf) e estudamos os mecanismos de formação da microestrutura dos filmes. Durante o desenvolvimento de nosso trabalho, curiosos aglomerados de grãos, com tamanhos de vários micrometros e com geometria fractal, foram observados nos filmes de Zr. As características geométricas dos aglomerados e os possíveis mecanismos que os originam e levam à sua evolução também são considerados aqui.
id USP_5e153c4815a66c1ac1439e8c2567a573
oai_identifier_str oai:teses.usp.br:tde-03092012-160913
network_acronym_str USP
network_name_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
repository_id_str
spelling Caracterização nanoestrutural de filmes finos do grupo IV-B depositados por sputtering magnetronNanostructural characterization of Group IV thin films deposited by magnetron sputteringAtomic microscopeFilmes finosMicroestruturaMicroscópio de força atômicaMicrostructureSputteringThin filmsCorrelações do tipo processo-estrutura-propriedade de filmes têm sido objeto de extensos estudos já a várias décadas, tanto do ponto de vista científico como tecnológico. Mais recentemente, atenção crescente tem sido dada a filmes cada vez mais finos, principalmente para atender as necessidades de novas tecnologias. Para compreender melhor a correlação processo-estrutura, vários pesquisadores propuseram Modelos de Zonas Estruturais para filmes com espessuras, tipicamente, de algumas unidades a dezenas de micrometros. Neste trabalho, propomos Modelos de Zonas Estruturais para filmes finos de elementos do Grupo IV-B (Ti, Zr e Hf) e estudamos os mecanismos de formação da microestrutura dos filmes. Durante o desenvolvimento de nosso trabalho, curiosos aglomerados de grãos, com tamanhos de vários micrometros e com geometria fractal, foram observados nos filmes de Zr. As características geométricas dos aglomerados e os possíveis mecanismos que os originam e levam à sua evolução também são considerados aqui.Correlations type processing-structure-property of films have been the subject of extensive studies for the last several decades, both from the point of view of science and technology. More recently, growing attention has been given to ever-thinner films, especially to satisfy the needs of newer technologies. To better understand the correlation processing-structure, many researchers have proposed Structure Zone Models for films typically a few to a few tens of micrometers thick. In this work, we propose Structure Zone Models for Group IV-B (Ti, Zr and Hf) thin films and study the microstructure forming mechanisms of the films. During the development of our work, intriguing grain aggregates several micrometers Jorge and with fractal geometry were observed in the Zr films. The geometrical characteristics of the aggregates, their possible origin and evolution mechanisms are also considered here.Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USPOppenheim, Ivette Frida CymbaumChinaglia, Eliane de Fátima2002-11-11info:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/doctoralThesisapplication/pdfhttp://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-03092012-160913/reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USPinstname:Universidade de São Paulo (USP)instacron:USPLiberar o conteúdo para acesso público.info:eu-repo/semantics/openAccesspor2016-07-28T16:10:32Zoai:teses.usp.br:tde-03092012-160913Biblioteca Digital de Teses e Dissertaçõeshttp://www.teses.usp.br/PUBhttp://www.teses.usp.br/cgi-bin/mtd2br.plvirginia@if.usp.br|| atendimento@aguia.usp.br||virginia@if.usp.bropendoar:27212016-07-28T16:10:32Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP - Universidade de São Paulo (USP)false
dc.title.none.fl_str_mv Caracterização nanoestrutural de filmes finos do grupo IV-B depositados por sputtering magnetron
Nanostructural characterization of Group IV thin films deposited by magnetron sputtering
title Caracterização nanoestrutural de filmes finos do grupo IV-B depositados por sputtering magnetron
spellingShingle Caracterização nanoestrutural de filmes finos do grupo IV-B depositados por sputtering magnetron
Chinaglia, Eliane de Fátima
Atomic microscope
Filmes finos
Microestrutura
Microscópio de força atômica
Microstructure
Sputtering
Thin films
title_short Caracterização nanoestrutural de filmes finos do grupo IV-B depositados por sputtering magnetron
title_full Caracterização nanoestrutural de filmes finos do grupo IV-B depositados por sputtering magnetron
title_fullStr Caracterização nanoestrutural de filmes finos do grupo IV-B depositados por sputtering magnetron
title_full_unstemmed Caracterização nanoestrutural de filmes finos do grupo IV-B depositados por sputtering magnetron
title_sort Caracterização nanoestrutural de filmes finos do grupo IV-B depositados por sputtering magnetron
author Chinaglia, Eliane de Fátima
author_facet Chinaglia, Eliane de Fátima
author_role author
dc.contributor.none.fl_str_mv Oppenheim, Ivette Frida Cymbaum
dc.contributor.author.fl_str_mv Chinaglia, Eliane de Fátima
dc.subject.por.fl_str_mv Atomic microscope
Filmes finos
Microestrutura
Microscópio de força atômica
Microstructure
Sputtering
Thin films
topic Atomic microscope
Filmes finos
Microestrutura
Microscópio de força atômica
Microstructure
Sputtering
Thin films
description Correlações do tipo processo-estrutura-propriedade de filmes têm sido objeto de extensos estudos já a várias décadas, tanto do ponto de vista científico como tecnológico. Mais recentemente, atenção crescente tem sido dada a filmes cada vez mais finos, principalmente para atender as necessidades de novas tecnologias. Para compreender melhor a correlação processo-estrutura, vários pesquisadores propuseram Modelos de Zonas Estruturais para filmes com espessuras, tipicamente, de algumas unidades a dezenas de micrometros. Neste trabalho, propomos Modelos de Zonas Estruturais para filmes finos de elementos do Grupo IV-B (Ti, Zr e Hf) e estudamos os mecanismos de formação da microestrutura dos filmes. Durante o desenvolvimento de nosso trabalho, curiosos aglomerados de grãos, com tamanhos de vários micrometros e com geometria fractal, foram observados nos filmes de Zr. As características geométricas dos aglomerados e os possíveis mecanismos que os originam e levam à sua evolução também são considerados aqui.
publishDate 2002
dc.date.none.fl_str_mv 2002-11-11
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/doctoralThesis
format doctoralThesis
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-03092012-160913/
url http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-03092012-160913/
dc.language.iso.fl_str_mv por
language por
dc.relation.none.fl_str_mv
dc.rights.driver.fl_str_mv Liberar o conteúdo para acesso público.
info:eu-repo/semantics/openAccess
rights_invalid_str_mv Liberar o conteúdo para acesso público.
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
dc.coverage.none.fl_str_mv
dc.publisher.none.fl_str_mv Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
publisher.none.fl_str_mv Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
dc.source.none.fl_str_mv
reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
instname:Universidade de São Paulo (USP)
instacron:USP
instname_str Universidade de São Paulo (USP)
instacron_str USP
institution USP
reponame_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
collection Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
repository.name.fl_str_mv Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP - Universidade de São Paulo (USP)
repository.mail.fl_str_mv virginia@if.usp.br|| atendimento@aguia.usp.br||virginia@if.usp.br
_version_ 1815257841407098880

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