Uma geometria alternativa para detecção do espalhamento de luz LASER por partículas e micro-rugosidades em superfícies de silício.

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 2008
Autor(a) principal: Souza Filho, José Cândido de
Orientador(a): Não Informado pela instituição
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Tese
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
Espalhamento
LASER
Laser
Óptica
Optics
Particles
Partículas
Scattering
Silício
Silicon
Superfície
Surface
Link de acesso: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-30092008-145835/
Resumo: Neste trabalho é proposta uma geometria alternativa para detecção do espalhamento de luz LASER, com o objetivo de determinar o tamanho e o número de partículas aderidas em lâminas de silício com diferentes acabamentos superficiais. Neste trabalho foi utilizado um modelo teórico que descreve o espalhamento de luz por partículas dielétricas previamente depositadas sobre superfícies polidas. Esse modelo baseia-se na teoria analítica de espalhamento por partículas dielétricas suspensas num meio desenvolvida por Gustav Mie26, adaptado para partículas aderidas em superfícies28,29. Para caracterizar o equipamento por nós construído, foram utilizadas amostras contendo diferentes características ou feições superficiais: partículas de LATEX com quatro diâmetros diferentes (0,1 mm, 0,6 mm, 1,1 mm e 5,0 mm) previamente depositadas, amostras de lâminas de silício contendo padrões de linhas com alturas, larguras e espaçamentos conhecidos e amostras com micro-gotas de glicerina de diversos diâmetros (500 1800 mm). Obtivemos a intensidade total de luz espalhada em função das seções de espalhamento de cada elemento citado. Também foram feitas medidas de contagem de partículas e, em alguns casos, uma medida da assimetria horizontal das partículas presentes nas superfícies. Os resultados das medidas de espalhamento de luz por partículas e micro-gotas de glicerina foram comparados com os resultados previstos pelo modelo da reflexão desobstruída (URM) através de um programa implementado no MATLAB para o cálculo de seções de espalhamento, elaborado com base numa rotina de cálculo proposta por Bohren e Huffman.
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