Efeitos da radiação de prótons em FinFET\'s de porta tripla de corpo (Bulk-FinFET). - Bertoldo, Marcelo (2016)
O transistor de efeito de campo por aletas de porta tripla de corpo (Bulk-FinFET) é um dispositivo com aplicações comerciais e possui algumas vantagens sobre os FinFETs de porta tripla SOI (Silício sobre Isolante - Silicon on Insulator). Estas vantagens são devidas ao custo da lâmina mais competitivo e maior quantidade de fabricantes de lâmina de silício, além da compatibilidade com processos de tecnologias convencionais de substrato de silício e melhor dissipação térmica. Aplicações aeroespaciais estão sujeitas à incidência das radiações ionizantes de partículas e eletromagnéticas. Os efeitos permanentes das radiações ionizantes criam cargas positivas nos óxidos dos transistores. São afetados os óxidos de porta e os óxidos de isolação, podendo levar os transistores a degradação e falha. Neste trabalho foi avaliado o impacto das radiações ionizantes de prótons de 60 MeV em FinFETs de porta tripla de corpo. O seu desempenho elétrico em aplicações de CIs CMOS analógicos após as radiações ionizantes comparando-os com dispositivos não radiados. Esta radiação possui de uma energia radiante bem maior que as radiações ionizantes presentes nas regiões do espaço visando o estudo do pior caso. Por isso se estes dispositivos funcionarem com essas radiações ionizantes extremas, acreditamos que irão funcionar nas regiões que contêm as radiações ionizantes naturais. Foram estudados FinFET\'s do tipo-n e do tipo-p. Os dispositivos estudados foram irradiados não polarizados. Foram extraídas curvas da corrente de dreno em função da tensão aplicada na porta em baixos e altos campos elétricos longitudinais e verticais e avaliado o comportamento dos dispositivos nas regiões de corte e condução. Foi medida também a curva da corrente de dreno em função da tensão aplicada no dreno para a obtenção dos principais parâmetros analógicos, como o ganho de tensão intrínseco, a transcondutância máxima em saturação e a condutância de saída. Todas as curvas foram extraídas para FinFETs de porta tripla de corpo com deferentes dimensões de comprimentos de canal (35, 70, 130 e 1000 nm) e diferentes larguras das aletas (20, 130 e 1000 nm). Devido às cargas induzidas no óxido de isolação pelas radiações ionizantes de prótons, os dispositivos com larguras das aletas mais estreitas apresentaram altas correntes de fuga no dreno na região de corte, tanto com campo elétrico longitudinal decorrente de uma polarização de dreno de 50 mV, quanto para campo elétrico longitudinal decorrente de uma tensão de dreno de 800 mV. Foi observado também, reduções nos valores das tensões de limiar nos dispositivos radiados em torno de 50 mV nos dispositivos estudados quando comparado as condições dos dispositivos pré-radiados. Nos parâmetros analógicos, houve redução significativa no ganho intrínseco de tensão nos dispositivos do tipo-n com maior comprimento de canal após as radiações ionizantes, ao comparar com dispositivos não radiados. O ganho intrínseco de tensão nos dispositivos tipo-n não radiado com comprimento de canal de 1000 nm é em torno de 55 dB. Este valor foi reduzido para cerca de 40 dB nos dispositivos com comprimento de canal de 1000 nm após a radiação. A principal influência na degradação do ganho intrínseco de tensão se deve a alteração da condutância de saída nos dispositivos radiados com comprimento de canal de 1000 nm.