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Autor:
Leandro Leite Tezani
Assunto:
Física
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Autor:
Leandro Leite Tezani
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Física
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1
Corrosão de silício por jato de plasma em expansão no vácuo.
Por
Leandro Leite Tezani
Publicado em 2010
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Dissertação
2
Caracterização de plasmas fluorados em reatores RIE e HCRIE para corrosão de silício
Por
Leandro Leite Tezani
Publicado em 2015
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Instituição de defesa
Instituto Tecnológico de Aeronáutica
2
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Biblioteca Digital de Teses e Dissertações do ITA
Autor
Leandro Leite Tezani
Tipo de documento
Tese
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Dissertação
1
Tipo de acesso
openAccess
Idioma
Português
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Assunto
Ensaios de corrosão
2
Flúor
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Física
Física de plasmas
2
Processamento de materiais a plasma
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1
Diagnóstico de plasmas
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Espectroscopia de massa
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1
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