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Autor:
Nascimento, Igor Oliveira
Programa de Pós-Graduação:
Programa de Pós-Graduação em Ciência e Engenharia de Materiais
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Português
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Autor:
Nascimento, Igor Oliveira
Programa de Pós-Graduação:
Programa de Pós-Graduação em Ciência e Engenharia de Materiais
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1
Construção de um aparato experimental para monitoramento in situ da deposição de filmes finos de titânio por magnetron sputtering
Por
Nascimento, Igor Oliveira
Publicado em 2011
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Dissertação
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Instituição de defesa
Universidade Federal do Rio Grande do Norte (UFRN)
1
Bases coletadas
Repositório Institucional da UFRN
1
Programa de Pós-Graduação
Programa de Pós-Graduação em Ciência e Engenharia de Materiais
Autor
Nascimento, Igor Oliveira
Orientador(a)
Alves Júnior, Clodomiro
1
Tipo de documento
Dissertação
1
Tipo de acesso
openAccess
1
Idioma
Português
Assunto
Filmes finos. Magnetron sputtering. Espectroscopia de emissão Óptica
1
Assunto em inglês
Thin Films. Magnetron Sputtering and Optical Emission Spectroscopy
1
Área do conhecimento CNPq
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