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...Equipamentos de plasma são muito utilizados para polimerização de filmes finos, orgânicos...

Construção de equipamento de plasma para obtenção de filmes finos e compósitos úteis na fabricação de sensores.

Publicado em 2009
Tese

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...O presente trabalho teve por objetivo verificar a possibilidade de obtenção de filmes finos...

Polimerização por plasma de éter e ésteres orgânicos: caracterização e possíveis usos em microeletrônica.

Publicado em 2004
Dissertação