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“... de háfnio (AlxHf1-xOy) como dielétricos de porta, além disso, estes filmes dielétricos foram caracterizados...”
Caracterização física e elétrica de filmes dielétricos de Al2O3 e AlxHf1-xOy para estruturas high-k MOS.
Dissertação
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“...Neste trabalho foram crescidos filmes finos de oxinitreto de silício (SiOxNy) por processamento...”
Fabricação de células solares MOS utilizando oxinitretos de silício obtidos por processamento térmico rápido (RTP).
Tese