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Estudo experimental de filmes ultrafinos de oxinitretos de silício por substituição isotópica e perfilometria com resolução subnanométrica
Por
Salgado, Tania Denise Miskinis
Publicado em 1999
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Tese
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Instituição de defesa
Universidade Federal do Rio Grande do Sul (UFRGS)
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Bases coletadas
Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da UFRGS
1
Autor
Salgado, Tania Denise Miskinis
1
Orientador(a)
Baumvol, Israel Jacob Rabin
Tipo de documento
Tese
1
Tipo de acesso
openAccess
1
Idioma
Português
1
Assunto
Filmes finos
Implantação de íons
1
Nitrogênio
1
Oxidação
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Reacoes nucleares
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