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Defect engineering in H and He implanted Si
Por
Reboh, Shay
Publicado em 2008
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Tese
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Instituição de defesa
Universidade Federal do Rio Grande do Sul (UFRGS)
1
Bases coletadas
Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da UFRGS
1
Autor
Reboh, Shay
1
Orientador(a)
Barbot, Jean François
1
Beaufort, Marie France
Fichtner, Paulo Fernando Papaleo
1
Tipo de documento
Tese
1
Tipo de acesso
openAccess
1
Idioma
Inglês
Assunto
Elasticidade
1
Hidrogênio
1
Hélio
1
Implantação de íons
1
Silício
1
Assunto em inglês
DRX
1
Elasticity
1
Helium
1
Hydrogen
1
Ion implantation
1
MET
1
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SEM
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Silicon
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