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“... e ópticas de filmes de carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-Si1-xCx:H) produzidos pela técnica...”
Estudo e caracterização de filmes de a-Si1-xCx:H obtidos por PECVD visando sua aplicação em MEMS e dispositivos ópticos.
Dissertação
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“..., da caracterização e estudo das propriedades estruturais e ópticas de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy:H...”
Estudo das propriedades estruturais e ópticas em materiais nanoestruturados a base de silício.
Tese
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“...Neste trabalho, apresento um estudo sobre a fabricação e caracterização físico-química de filmes...”
Estudo de materiais piezoelétricos da família III-V obtidos por sputtering reativo visando sua aplicação em sensores e MEMS.
Dissertação
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“...2 em forma de filme fino ou de nanopartículas, devido a sua maior área superficial e melhores propriedades...”
Produção de nanotubos de TiO2 visando sua aplicação em células solares.
Dissertação