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Assuntos:
“...Oxigênio...”
Estudo da estabilidade termodinâmica de filmes ultrafinos de HfO/sub 2/ sobre Si
Dissertação
2
Assuntos:
“...Oxigênio...”
Transporte atômico e incorporação de oxigênio em filmes de HfSiO e HfSiON depositados sobre Si
Dissertação