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Implantação iônica de oxigênio em silício
Por
Cima, Carlos Alberto
Publicado em 2001
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Tese
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Instituição de defesa
Universidade Federal do Rio Grande do Sul (UFRGS)
1
Bases coletadas
Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da UFRGS
Autor
Cima, Carlos Alberto
1
Orientador(a)
Souza, Joel Pereira de
Tipo de documento
Tese
1
Tipo de acesso
openAccess
1
Idioma
Português
1
Assunto
Defeitos
1
Densidade
1
Difração de raios X
1
Estrutura cristalina
1
Implantação de íons
1
Microscopia eletrônica de transmissão
1
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Retroespalhamento rutherford
1
Silício
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Temperatura
1
Transformações de fase
1
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