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1
Filmes de SiO2 depositados e crescidos termicamente sobre SiC : caracterização físico-química e elétrica
Por
Pitthan Filho, Eduardo
Publicado em 2013
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Dissertação
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Instituição de defesa
Universidade Federal do Rio Grande do Sul (UFRGS)
1
Bases coletadas
Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da UFRGS
1
Autor
Pitthan Filho, Eduardo
1
Orientador(a)
Stedile, Fernanda Chiarello
Tipo de documento
Dissertação
1
Tipo de acesso
openAccess
1
Idioma
Português
1
Assunto
Carbeto de silício
1
Deposição por sputtering
1
Dióxido de silício
1
Espectroscopia de fotoelétrons excitados por raios X
1
Microscopia de força atômica
1
Mos
1
Mais ...
Oxidação
Tratamento térmico
1
Ver todos ...
menos ...
Assunto em inglês
Ion beam analyses
1
MOS structure
1
Silicon carbide
1
Silicon dioxide
1
Sputtering deposition
1
Thermal oxidation
1
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