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Desenvolvimento e caracterização de dispositivos para reposição de filmes finos por descarga em cátodo oco
Por
Araújo, Francisco Odolberto de
Publicado em 2006
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Tese
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Instituição de defesa
Universidade Federal do Rio Grande do Norte (UFRN)
1
Bases coletadas
Repositório Institucional da UFRN
1
Programa de Pós-Graduação
Programa de Pós-Graduação em Física
Autor
Araújo, Francisco Odolberto de
1
Orientador(a)
Alves Júnior, Clodomiro
1
Tipo de documento
Tese
1
Tipo de acesso
openAccess
1
Idioma
Português
1
Assunto
Cátodo oco
1
Filmes finos
Gaiola ionizante
1
Processo sol-gel
1
Substrato de silício
1
Assunto em inglês
Films
1
Hollow cathode
1
Ionizing cage
1
Silicon substrates
1
Sol-gel process
Área do conhecimento CNPq
FISICA
1
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De:
Até:
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