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Assuntos:
“...Magnetron sputtering...”
Influência do teor de silício em filmes finos de nitreto de zircônio depositados por magnetron sputtering reativo
Tese
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Assuntos:
“...Sputtering...”
Deposição e caracterização de filmes finos de NbAIN por magnetron sputtering reativo
Dissertação
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Assuntos:
“...Magnetron sputtering reativo...”
Deposição e caracterização de filmes finos de ZrMoN por magnetron sputtering reativo
Dissertação