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Estudos de plasmas fluorados aplicados em corrosão de silício usando simulação de modelo global e diagnósticos experimentais.
Por
Rodrigo Sávio Pessoa
Publicado em 2009
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Caracterização de plasmas fluorados em reatores RIE e HCRIE para corrosão de silício
Por
Leandro Leite Tezani
Publicado em 2015
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1
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