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Ensaios de corrosão
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Física de plasmas
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Física
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Ensaios de corrosão
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Física de plasmas
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1
Estudos de plasmas fluorados aplicados em corrosão de silício usando simulação de modelo global e diagnósticos experimentais.
Por
Rodrigo Sávio Pessoa
Publicado em 2009
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Tese
2
Corrosão de silício por jato de plasma em expansão no vácuo.
Por
Leandro Leite Tezani
Publicado em 2010
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Dissertação
3
Análise morfológica e química do Si corroído por jato de plasma a baixa pressão.
Por
Shirley Mayumi Wakavaiachi
Publicado em 2011
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Dissertação
4
Caracterização de plasmas fluorados em reatores RIE e HCRIE para corrosão de silício
Por
Leandro Leite Tezani
Publicado em 2015
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Tese
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Instituição de defesa
Instituto Tecnológico de Aeronáutica
4
Bases coletadas
Biblioteca Digital de Teses e Dissertações do ITA
Autor
Leandro Leite Tezani
2
Rodrigo Sávio Pessoa
1
Shirley Mayumi Wakavaiachi
1
Tipo de documento
Tese
2
Dissertação
2
Tipo de acesso
openAccess
Idioma
Português
4
Assunto
Ensaios de corrosão
Física
Física de plasmas
Processamento de materiais a plasma
4
Silício
4
Flúor
3
Mais ...
Jatos a plasma
3
Diagnóstico de plasmas
2
Espectroscopia de massa
2
Espectroscopia óptica
2
Reatores químicos
2
Simulação de plasma
2
Alto vácuo
1
Jatos de plasma
1
Morfologia
1
Química de superfícies
1
Sonda de Langmuir
1
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