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1
Estudos de plasmas fluorados aplicados em corrosão de silício usando simulação de modelo global e diagnósticos experimentais.
Por
Rodrigo Sávio Pessoa
Publicado em 2009
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Tese
2
Estudo de uma descarga de radiofreqüência capacitiva de oxigênio a baixa pressão.
Por
Sérgio Wener Chula Parada
Publicado em 2010
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Dissertação
3
Caracterização de plasmas fluorados em reatores RIE e HCRIE para corrosão de silício
Por
Leandro Leite Tezani
Publicado em 2015
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Tese
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Autor
Leandro Leite Tezani
1
Rodrigo Sávio Pessoa
1
Sérgio Wener Chula Parada
1
Tipo de documento
Tese
2
Dissertação
1
Tipo de acesso
openAccess
3
Idioma
Português
3
Assunto
Diagnóstico de plasmas
3
Física
Física de plasmas
3
Processamento de materiais a plasma
3
Simulação de plasma
Ensaios de corrosão
2
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Espectroscopia de massa
2
Espectroscopia óptica
2
Flúor
2
Reatores químicos
2
Silício
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Sonda de Langmuir
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Jatos a plasma
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Jatos de plasma
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