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Assuntos:
“...Filmes finos dieletricos...”
Investigação da interface entre filmes dielétricos crescidos termicamente e o carbeto de silício monocristalino com potencial uso em microeletrônica
Dissertação
2
Assuntos:
“...Filmes finos dieletricos...”
Propriedades físico-químicas e características elétricas de estruturas dielétrico/SiC
Tese
3
Assuntos:
“...Filmes finos dieletricos...”
Crescimento térmico de filmes dielétricos sobre SiC e caracterização das estruturas formadas
Tese
4
Assuntos:
“...Filmes finos dieletricos...”
Filmes finos dielétricos para a tecnologia do silício : processamento térmico e caracterização
Tese
5
Assuntos:
“...Filmes finos dielétricos : Tratamento térmico...”
Propriedades físico-químicas de estruturas dielétrico/SiC e da camada interfacial formada
Dissertação
6
Assuntos:
“...Filmes finos dieletricos...”
Efeitos da interação de vapor d’água, de nitrogênio e de hidrogênio com estruturas dielétrico/SiC
Tese