1
Assuntos:
“...Filmes finos. Magnetron sputtering. Espectroscopia de emissão Óptica...”
Construção de um aparato experimental para monitoramento in situ da deposição de filmes finos de titânio por magnetron sputtering
Dissertação
2
Assuntos:
“...Magnetron sputtering...”
Caracterização do efeito da corrente e temperatura na estequiometria dos filmes finos de TiN depositados por Gaiola catódica e Magnetron sputtering
Tese