1
Assuntos:
“...Sputtering...”
Filmes finos de óxido de estanho: efeitos da implantação iônica e de ambientes oxidantes e redutores
Dissertação
2
Assuntos:
“...Deposição por sputtering...”
Avaliação das propriedades físico-químicas, mecânicas e tribológicas de filmes finos de VC, Si3N4 e TiN/Ti
Tese
3
Assuntos:
“...Deposição por sputtering...”
Físico-química do hidrogênio em óxidos e silicatos de háfnio para aplicação como dielétrico de porta
Tese