1
Assuntos:
“...Reactive sputtering...”
Foto e eletroluminescência de filmes de nitreto de silício não estequiométrico depositados por sputterin reativo
Tese
2
Assuntos:
“...Deposição por sputtering...”
Nitreto de silício depositado por sputtering reativo para aplicação em memória não-volátil
Dissertação
3
Assuntos:
“...Sputtering...”
Caracterização elétrica de estruturas metal/dielétrico high-k/Si
Dissertação