1
Assuntos:
“...Deposição por sputtering...”
Filmes de SiO2 depositados e crescidos termicamente sobre SiC : caracterização físico-química e elétrica
Dissertação
2
Assuntos:
“...Sputtering deposition...”
Investigação de defeitos e de métodos passivadores da região interfacial SiO2/SiC
Tese