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Difração Bragg-Superficie (BSD) : uma sonda de alta resolução para o estudo da implantação de íons em semicondutores
Por
Orloski, Renata Villela
Publicado em 2006
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Tese
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Instituição de defesa
Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
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Bases coletadas
Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
1
Autor
Orloski, Renata Villela
1
Tipo de documento
Tese
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Tipo de acesso
openAccess
1
Idioma
Português
1
Assunto
Bragg-surface diffraction
1
Difração Bragg-Superfície
1
Implantação iônica
1
Ion implantation
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Junções rasas
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X-Rays - Diffraction
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