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Assuntos: ...Filmes finos. Magnetron sputtering. Espectroscopia de emissão Óptica...

Construção de um aparato experimental para monitoramento in situ da deposição de filmes finos de titânio por magnetron sputtering

Publicado em 2011
Dissertação

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Assuntos: ...Plasma. Cátodo-oco. Deposição. Filmes finos. Espectroscopia de emissão óptica...

Diagnóstico de plasma de cátodo oco: análise da ação de plasma de argônio e Ar-H2 para a deposição de filmes finos de titânio em pós-descarga

Publicado em 2013
Dissertação

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Assuntos: ...Gaiola catódica. Superfície duplex. Nitretação a plasma. Filmes finos de TiN. Aço inoxidável...

Estudo da viabilidade técnica para obtenção de superfície duplex em aço inoxidável martensítico AISI 410 através do processo de deposição a plasma por gaiola catódica

Publicado em 2013
Dissertação