Morales Alvarado, A. A. (2008). Estudo e caracterização de filmes de a-Si1-xCx: H obtidos por PECVD visando sua aplicação em MEMS e dispositivos ópticos.
Referência de acordo com a norma ChicagoMorales Alvarado, Ary Adilson. Estudo E Caracterização De Filmes De A-Si1-xCx: H Obtidos Por PECVD Visando Sua Aplicação Em MEMS E Dispositivos ópticos. 2008.
Referência de acordo com a norma MLAMorales Alvarado, Ary Adilson. Estudo E Caracterização De Filmes De A-Si1-xCx: H Obtidos Por PECVD Visando Sua Aplicação Em MEMS E Dispositivos ópticos. 2008.
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