Assunto
Deposição química de vapor
Filmes finos
3
Thin films
3
Chemical vapor deposition
2
Silício
2
CVD (Chemical vapor deposition)
1
Diamante artificial
1
Dispositivos eletromecânicos
1
Eletromechanical devices
1
MEMS
1
Nitreto de silício
1
Silicon nitride
1
Silicon oxide
1
Silicon oxynitride
1
Silium
1
Synthetic diamants
1