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Assuntos:
“...Magnetron sputtering reativo...”
Influência do teor de Hf em filmes finos de Zr e ZrN depositados por magnetron sputtering
Dissertação
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Assuntos:
“...Magnetron sputtering reativo...”
Deposição e caracterização de filmes finos de ZrMoN por magnetron sputtering reativo
Dissertação