Buscas alternativas:
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1
Assuntos:
“...Thin films...”
Desenvolvimento de filmes de silicio-germanio para aplicações em dispositivos MOS
Tese
2
Assuntos:
“...Thin films...”
Obtenção e caracterização de filmes finos de oxido, nitreto e oxinitreto de silicio por deposição ECR-CVD
Dissertação