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Programa de Pós-Graduação:
Pós-Graduação em Ciência e Engenharia de Materiais
Assunto em inglês:
Thin films
Autor:
Santos, Júlio César Valeriano dos
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Português
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Programa de Pós-Graduação:
Pós-Graduação em Ciência e Engenharia de Materiais
Assunto em inglês:
Thin films
Autor:
Santos, Júlio César Valeriano dos
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1
Estudo sobre a formação da solução sólida em filmes finos de zrn+si depositados via magnetron sputtering reativo
Por
Santos, Júlio César Valeriano dos
Publicado em 2023
Acessar documento
Dissertação
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Instituição de defesa
Universidade Federal de Sergipe (UFS)
1
Bases coletadas
Repositório Institucional da UFS
1
Programa de Pós-Graduação
Pós-Graduação em Ciência e Engenharia de Materiais
Autor
Santos, Júlio César Valeriano dos
Orientador(a)
Tentardini, Eduardo Kirinus
1
Tipo de documento
Dissertação
1
Tipo de acesso
openAccess
1
Idioma
Português
Assunto
Filmes finos
1
Si3N4
1
Solução sólida
1
ZrN
1
Assunto em inglês
Magnetron sputtering
1
Magnetron sputtering reativo
1
Reactive magnetron sputtering
1
Solid solution
1
Thin films
Área do conhecimento CNPq
ENGENHARIA DE MATERIAIS E METALURGICA
1
Ano da publicação
De:
Até:
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