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Pós-Graduação em Ciência e Engenharia de Materiais
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Filmes finos
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Magnetron sputtering reativo
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1
Deposição e caracterização de filmes finos TaA1N por magnetron sputtering reativo
Por
Oliveira, Givanilson Brito de
Publicado em 2017
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Dissertação
2
Estudo sobre a formação da solução sólida em filmes finos de zrn+si depositados via magnetron sputtering reativo
Por
Santos, Júlio César Valeriano dos
Publicado em 2023
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Dissertação
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Instituição de defesa
Universidade Federal de Sergipe (UFS)
2
Bases coletadas
Repositório Institucional da UFS
2
Programa de Pós-Graduação
Pós-Graduação em Ciência e Engenharia de Materiais
Autor
Oliveira, Givanilson Brito de
1
Santos, Júlio César Valeriano dos
1
Orientador(a)
Tentardini, Eduardo Kirinus
2
Tipo de documento
Dissertação
2
Tipo de acesso
openAccess
2
Idioma
Português
Assunto
Filmes finos
Compostos de tântalo
1
Engenharia de materiais
1
Magnetron sputtering
1
Nitretos de tântalo
1
Si3N4
1
Mais ...
Solução sólida
1
TaA1N
1
ZrN
1
Ver todos ...
menos ...
Assunto em inglês
Magnetron sputtering reativo
Reactive magnetron sputtering
2
Thin films
2
Magnetron sputtering
1
Solid solution
1
Área do conhecimento CNPq
ENGENHARIA DE MATERIAIS E METALURGICA
2
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