Desenvolvimento da técnica de deposição de filmes finos por plasma com uso de gaiola catódica e caracterização de filmes finos de nitreto de titânio
| Ano de defesa: | 2014 |
|---|---|
| Autor(a) principal: | |
| Orientador(a): | |
| Banca de defesa: | |
| Tipo de documento: | Dissertação |
| Tipo de acesso: | Acesso aberto |
| Idioma: | por |
| Instituição de defesa: |
Não Informado pela instituição
|
| Programa de Pós-Graduação: |
Não Informado pela instituição
|
| Departamento: |
Não Informado pela instituição
|
| País: |
Não Informado pela instituição
|
| Palavras-chave em Português: | |
| Link de acesso: | https://repositorio.ifes.edu.br/xmlui/handle/123456789/312 |
Resumo: | RESUMO: Filmes finos de nitreto de titânio foram depositados sobre vidro e substrato de silício com orientação cristalográfica (100), por meio da técnica de deposição de filmes finos por plasma com uso de gaiola catódica, a fim de desenvolver e mostrar o potencial dessa técnica que é relativamente nova. Além disso, objetivou-se conhecer as propriedades estruturais, ópticas, elétricas e eletroquímicas desses filmes depositados. Os processos de deposição ocorreram em condições variadas de temperatura, fluxo de gás e configuração da gaiola em termos de furos nas laterais, mas com tempo de deposição e pressão de trabalho fixos em 2 h e 1,9 torr, respectivamente. As análises de espectroscopia por dispersão de energia (EDS) mostraram que os filmes são compostos por nitrogênio e titânio, além de outros elementos e, a partir da microscopia de força atômica (AFM) e da microscopia confocal foi possível observar algumas características microestruturais dos filmes, além da medição de suas espessuras. As propriedades ópticas mostraram que os filmes depositados em maior atmosfera de N₂ tiveram maior transmitância e, em termos de coloração, esses filmes obtiveram aspecto dourado, cinza e marrom, dependendo das condições de deposição, o que, segundo a literatura, é característico desses filmes. Em relação às propriedades elétricas, os filmes mostraram elevada resistência, com valores que variaram em 7 ordens de grandeza e em termos de propriedades eletroquímicas, os filmes mostraram-se capacitivos e resistivos nas condições analisadas. |
| id |
IFES-2_5f557cf64bf357a7d1f872cdce9d00d1 |
|---|---|
| oai_identifier_str |
oai:repositorio.ifes.edu.br:123456789/312 |
| network_acronym_str |
IFES-2 |
| network_name_str |
Repositório Institucional do IFES |
| repository_id_str |
|
| spelling |
Bottoni, Cintia de Laet RavaniGontijo, Leonardo Cabral2018-03-12T18:20:26Z2018-03-12T18:20:26Z2014BOTTONI, Cintia de Laet Ravani. Desenvolvimento da técnica de deposição de filmes finos por plasma com uso de gaiola catódica e caracterização de filmes finos de nitreto de titânio. 2014. 106 f. Dissertação (Mestrado em Engenharia Metalúrgica e de Materiais) - Instituto Federal do Espírito Santo, Vitória, 2014.https://repositorio.ifes.edu.br/xmlui/handle/123456789/31230004012001P0RESUMO: Filmes finos de nitreto de titânio foram depositados sobre vidro e substrato de silício com orientação cristalográfica (100), por meio da técnica de deposição de filmes finos por plasma com uso de gaiola catódica, a fim de desenvolver e mostrar o potencial dessa técnica que é relativamente nova. Além disso, objetivou-se conhecer as propriedades estruturais, ópticas, elétricas e eletroquímicas desses filmes depositados. Os processos de deposição ocorreram em condições variadas de temperatura, fluxo de gás e configuração da gaiola em termos de furos nas laterais, mas com tempo de deposição e pressão de trabalho fixos em 2 h e 1,9 torr, respectivamente. As análises de espectroscopia por dispersão de energia (EDS) mostraram que os filmes são compostos por nitrogênio e titânio, além de outros elementos e, a partir da microscopia de força atômica (AFM) e da microscopia confocal foi possível observar algumas características microestruturais dos filmes, além da medição de suas espessuras. As propriedades ópticas mostraram que os filmes depositados em maior atmosfera de N₂ tiveram maior transmitância e, em termos de coloração, esses filmes obtiveram aspecto dourado, cinza e marrom, dependendo das condições de deposição, o que, segundo a literatura, é característico desses filmes. Em relação às propriedades elétricas, os filmes mostraram elevada resistência, com valores que variaram em 7 ordens de grandeza e em termos de propriedades eletroquímicas, os filmes mostraram-se capacitivos e resistivos nas condições analisadas.ABSTRACT: Thin films of titanium nitride were deposited on glass and substrate silicon with the crystallographic orientation (100), using the Cathodic Discharge Cage Plasma Deposition technique to develop and demonstrate the potential of this technique which is relatively new. Moreover, it aimed to evaluate the anodic, electrical, optical and structural properties of these deposited films. The deposition processes were made under varying conditions of temperature, gas flow and configuration of the cage in terms of holes in the sides, but the deposition time and working pressure were fixed at 2h and 1.9 Torr, respectively. The analysis of energy dispersive spectroscopy (EDS) showed that the films are composed of nitrogen and titanium, and other elements. As well, by the atomic force microscopy (AFM) and confocal microscopy were possible observe some microstructural characteristics of the films, in addition to measuring their thicknesses. The optical properties exhibit that the films placed in high concentrations of N₂ had more transmittance and their color obtained brown, gray and golden appearance, depending on the deposition conditions. According to literature, it is characteristic of these films. Regarding the electrical properties, the films showed off high resistance, with values ranging in magnitude 7. In terms of anodic properties, the films under the conditions analyzed proved to be capacitive and resistive.porEngenharia de materiaisFilmes finos - Propriedades ópticasFilmes finos - Propriedades térmicasTitânioDesenvolvimento da técnica de deposição de filmes finos por plasma com uso de gaiola catódica e caracterização de filmes finos de nitreto de titânioinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisinfo:eu-repo/semantics/openAccessreponame:Repositório Institucional do IFESinstname:Instituto Federal de Educação, Ciência e Tecnologia do Espírito Santo (IFES)instacron:IFESCampus VitóriaPrograma de Pós-graduação em Engenharia Metalúrgica e de MateriaisORIGINALDISSERTAÇÃO_Desenvolvimento_técnica_deposição_filmes_finos.pdfDISSERTAÇÃO_Desenvolvimento_técnica_deposição_filmes_finos.pdfapplication/pdf17143775https://repositorio.ifes.edu.br/bitstreams/60fc6aa3-8990-43a1-bef2-7da32c1cfdc8/download8b21902124838e6202ca93f5c22f60c5MD51trueAnonymousREADLICENSElicense.txtlicense.txttext/plain; charset=utf-81748https://repositorio.ifes.edu.br/bitstreams/165ba9dd-f77d-40b4-8449-8f73cd59b589/download8a4605be74aa9ea9d79846c1fba20a33MD52falseAnonymousREADTEXTDISSERTAÇÃO_Desenvolvimento_técnica_deposição_filmes_finos.pdf.txtDISSERTAÇÃO_Desenvolvimento_técnica_deposição_filmes_finos.pdf.txtExtracted texttext/plain155222https://repositorio.ifes.edu.br/bitstreams/1ceca6eb-0e87-450f-9753-2575e3a11568/downloadcf3e78eae70149b93b8ab2838f6a260cMD53falseAnonymousREADTHUMBNAILDISSERTAÇÃO_Desenvolvimento_técnica_deposição_filmes_finos.pdf.jpgDISSERTAÇÃO_Desenvolvimento_técnica_deposição_filmes_finos.pdf.jpgGenerated Thumbnailimage/jpeg2284https://repositorio.ifes.edu.br/bitstreams/acaf0e36-a9ba-4531-acae-c5d6b67501ca/downloadae22003f6926e031acec9965fdafd301MD54falseAnonymousREAD123456789/3122019-06-18T18:21:22.311Zopen.accessoai:repositorio.ifes.edu.br:123456789/312https://repositorio.ifes.edu.brRepositório InstitucionalPUBhttps://repositorio.ifes.edu.br/server/oai/requestrepositorio@ifes.edu.bropendoar:2019-06-18T18:21:22Repositório Institucional do IFES - Instituto Federal de Educação, Ciência e Tecnologia do Espírito Santo (IFES)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 |
| dc.title.pt_BR.fl_str_mv |
Desenvolvimento da técnica de deposição de filmes finos por plasma com uso de gaiola catódica e caracterização de filmes finos de nitreto de titânio |
| title |
Desenvolvimento da técnica de deposição de filmes finos por plasma com uso de gaiola catódica e caracterização de filmes finos de nitreto de titânio |
| spellingShingle |
Desenvolvimento da técnica de deposição de filmes finos por plasma com uso de gaiola catódica e caracterização de filmes finos de nitreto de titânio Bottoni, Cintia de Laet Ravani Engenharia de materiais Filmes finos - Propriedades ópticas Filmes finos - Propriedades térmicas Titânio |
| title_short |
Desenvolvimento da técnica de deposição de filmes finos por plasma com uso de gaiola catódica e caracterização de filmes finos de nitreto de titânio |
| title_full |
Desenvolvimento da técnica de deposição de filmes finos por plasma com uso de gaiola catódica e caracterização de filmes finos de nitreto de titânio |
| title_fullStr |
Desenvolvimento da técnica de deposição de filmes finos por plasma com uso de gaiola catódica e caracterização de filmes finos de nitreto de titânio |
| title_full_unstemmed |
Desenvolvimento da técnica de deposição de filmes finos por plasma com uso de gaiola catódica e caracterização de filmes finos de nitreto de titânio |
| title_sort |
Desenvolvimento da técnica de deposição de filmes finos por plasma com uso de gaiola catódica e caracterização de filmes finos de nitreto de titânio |
| author |
Bottoni, Cintia de Laet Ravani |
| author_facet |
Bottoni, Cintia de Laet Ravani |
| author_role |
author |
| dc.contributor.author.fl_str_mv |
Bottoni, Cintia de Laet Ravani |
| dc.contributor.advisor1.fl_str_mv |
Gontijo, Leonardo Cabral |
| contributor_str_mv |
Gontijo, Leonardo Cabral |
| dc.subject.por.fl_str_mv |
Engenharia de materiais Filmes finos - Propriedades ópticas Filmes finos - Propriedades térmicas Titânio |
| topic |
Engenharia de materiais Filmes finos - Propriedades ópticas Filmes finos - Propriedades térmicas Titânio |
| description |
RESUMO: Filmes finos de nitreto de titânio foram depositados sobre vidro e substrato de silício com orientação cristalográfica (100), por meio da técnica de deposição de filmes finos por plasma com uso de gaiola catódica, a fim de desenvolver e mostrar o potencial dessa técnica que é relativamente nova. Além disso, objetivou-se conhecer as propriedades estruturais, ópticas, elétricas e eletroquímicas desses filmes depositados. Os processos de deposição ocorreram em condições variadas de temperatura, fluxo de gás e configuração da gaiola em termos de furos nas laterais, mas com tempo de deposição e pressão de trabalho fixos em 2 h e 1,9 torr, respectivamente. As análises de espectroscopia por dispersão de energia (EDS) mostraram que os filmes são compostos por nitrogênio e titânio, além de outros elementos e, a partir da microscopia de força atômica (AFM) e da microscopia confocal foi possível observar algumas características microestruturais dos filmes, além da medição de suas espessuras. As propriedades ópticas mostraram que os filmes depositados em maior atmosfera de N₂ tiveram maior transmitância e, em termos de coloração, esses filmes obtiveram aspecto dourado, cinza e marrom, dependendo das condições de deposição, o que, segundo a literatura, é característico desses filmes. Em relação às propriedades elétricas, os filmes mostraram elevada resistência, com valores que variaram em 7 ordens de grandeza e em termos de propriedades eletroquímicas, os filmes mostraram-se capacitivos e resistivos nas condições analisadas. |
| publishDate |
2014 |
| dc.date.issued.fl_str_mv |
2014 |
| dc.date.accessioned.fl_str_mv |
2018-03-12T18:20:26Z |
| dc.date.available.fl_str_mv |
2018-03-12T18:20:26Z |
| dc.type.status.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/publishedVersion |
| dc.type.driver.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/masterThesis |
| format |
masterThesis |
| status_str |
publishedVersion |
| dc.identifier.citation.fl_str_mv |
BOTTONI, Cintia de Laet Ravani. Desenvolvimento da técnica de deposição de filmes finos por plasma com uso de gaiola catódica e caracterização de filmes finos de nitreto de titânio. 2014. 106 f. Dissertação (Mestrado em Engenharia Metalúrgica e de Materiais) - Instituto Federal do Espírito Santo, Vitória, 2014. |
| dc.identifier.uri.fl_str_mv |
https://repositorio.ifes.edu.br/xmlui/handle/123456789/312 |
| dc.identifier.capes.none.fl_str_mv |
30004012001P0 |
| identifier_str_mv |
BOTTONI, Cintia de Laet Ravani. Desenvolvimento da técnica de deposição de filmes finos por plasma com uso de gaiola catódica e caracterização de filmes finos de nitreto de titânio. 2014. 106 f. Dissertação (Mestrado em Engenharia Metalúrgica e de Materiais) - Instituto Federal do Espírito Santo, Vitória, 2014. 30004012001P0 |
| url |
https://repositorio.ifes.edu.br/xmlui/handle/123456789/312 |
| dc.language.iso.fl_str_mv |
por |
| language |
por |
| dc.rights.driver.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/openAccess |
| eu_rights_str_mv |
openAccess |
| dc.source.none.fl_str_mv |
reponame:Repositório Institucional do IFES instname:Instituto Federal de Educação, Ciência e Tecnologia do Espírito Santo (IFES) instacron:IFES |
| instname_str |
Instituto Federal de Educação, Ciência e Tecnologia do Espírito Santo (IFES) |
| instacron_str |
IFES |
| institution |
IFES |
| reponame_str |
Repositório Institucional do IFES |
| collection |
Repositório Institucional do IFES |
| bitstream.url.fl_str_mv |
https://repositorio.ifes.edu.br/bitstreams/60fc6aa3-8990-43a1-bef2-7da32c1cfdc8/download https://repositorio.ifes.edu.br/bitstreams/165ba9dd-f77d-40b4-8449-8f73cd59b589/download https://repositorio.ifes.edu.br/bitstreams/1ceca6eb-0e87-450f-9753-2575e3a11568/download https://repositorio.ifes.edu.br/bitstreams/acaf0e36-a9ba-4531-acae-c5d6b67501ca/download |
| bitstream.checksum.fl_str_mv |
8b21902124838e6202ca93f5c22f60c5 8a4605be74aa9ea9d79846c1fba20a33 cf3e78eae70149b93b8ab2838f6a260c ae22003f6926e031acec9965fdafd301 |
| bitstream.checksumAlgorithm.fl_str_mv |
MD5 MD5 MD5 MD5 |
| repository.name.fl_str_mv |
Repositório Institucional do IFES - Instituto Federal de Educação, Ciência e Tecnologia do Espírito Santo (IFES) |
| repository.mail.fl_str_mv |
repositorio@ifes.edu.br |
| _version_ |
1865654645935833088 |