Desenvolvimento de uma ferramenta semi-automática para diagnóstico de plasmas frios aplicados à indústria de semicondutores

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 2023
Autor(a) principal: Cicareli, Rodrigo dos Santos
Orientador(a): Cirino, Giuseppe Antonio lattes
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Dissertação
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: Universidade Federal de São Carlos
Câmpus São Carlos
Programa de Pós-Graduação: Programa de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica - PPGEE
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
Plasmas frios
Sonda eletrostática
Aquisição
Choque RF
Palavras-chave em Inglês:
Matlab
Labview
Cold plasmas
Electrostatic probe
Aquisition
RF shock
Área do conhecimento CNPq:
ENGENHARIAS::ENGENHARIA ELETRICA::CIRCUITOS ELETRICOS, MAGNETICOS E ELETRONICOS
Link de acesso: https://repositorio.ufscar.br/handle/20.500.14289/18842
Resumo: Technological applications involving plasma processing steps are quite common. With no doubt, the semiconductor industry has a relevant impact on the daily life of contemporary society. The manufacture of integrated circuits is strongly related to the technological domain of plasma assisted processes. Such processes promote deposition and/or etching of thin films, whether metallic or dielectric. Among the various plasma diagnostic techniques, the electrostatic probe (or Langmuir probe) is a versatile and low-cost tool. Through this technique, it is possible to determine electrical parameters of plasma, such as electron and ion density, mean energy of the electron distribution, floating potential and plasma potential [1]. This work intends to develop a semi-automatic numerical tool for data acquisition, conditioning and processing, aiming to determine the electrical parameters of cold plasmas, used in dry etching processes. This automation consists of data acquisition from an analog/digital converter (A/D) with the help of LabView software and the analysis of the characteristic curve of plasmas using the electrostatic probe technique for single probes through Matlab software.
id SCAR_4be21f6e71be570a4aa54936cc600c67
oai_identifier_str oai:repositorio.ufscar.br:20.500.14289/18842
network_acronym_str SCAR
network_name_str Repositório Institucional da UFSCAR
repository_id_str
spelling Cicareli, Rodrigo dos SantosCirino, Giuseppe Antoniohttp://lattes.cnpq.br/4223181147426711http://lattes.cnpq.br/6433692402255988ccb239c6-62d2-4696-a77d-71507350d9792023-10-30T14:07:23Z2023-10-30T14:07:23Z2023-06-23CICARELI, Rodrigo dos Santos. Desenvolvimento de uma ferramenta semi-automática para diagnóstico de plasmas frios aplicados à indústria de semicondutores. 2023. Dissertação (Mestrado em Engenharia Elétrica) – Universidade Federal de São Carlos, São Carlos, 2023. Disponível em: https://repositorio.ufscar.br/handle/20.500.14289/18842.https://repositorio.ufscar.br/handle/20.500.14289/18842Technological applications involving plasma processing steps are quite common. With no doubt, the semiconductor industry has a relevant impact on the daily life of contemporary society. The manufacture of integrated circuits is strongly related to the technological domain of plasma assisted processes. Such processes promote deposition and/or etching of thin films, whether metallic or dielectric. Among the various plasma diagnostic techniques, the electrostatic probe (or Langmuir probe) is a versatile and low-cost tool. Through this technique, it is possible to determine electrical parameters of plasma, such as electron and ion density, mean energy of the electron distribution, floating potential and plasma potential [1]. This work intends to develop a semi-automatic numerical tool for data acquisition, conditioning and processing, aiming to determine the electrical parameters of cold plasmas, used in dry etching processes. This automation consists of data acquisition from an analog/digital converter (A/D) with the help of LabView software and the analysis of the characteristic curve of plasmas using the electrostatic probe technique for single probes through Matlab software.Aplicações tecnológicas que envolvem etapas de processamento por plasmas são bastante comuns. Sem dúvida, a indústria de semicondutores tem um impacto relevante no dia a dia da sociedade contemporânea. A fabricação de circuitos integrados está fortemente relacionada ao domínio tecnológico de processos assistidos por plasmas. Tais processos promovem deposição e/ou corrosão de filmes finos, sejam eles metálicos ou dielétricos. Dentre as várias técnicas de diagnóstico de plasmas, a sonda eletrostática (ou sonda de Langmuir) é uma ferramenta versátil, e de baixo custo. Através desta técnica pode-se determinar parâmetros elétricos de plasma, como a densidade de elétrons e de íons, energia média da distribuição dos elétrons, potencial flutuante e potencial de plasma. Este trabalho pretende desenvolver uma ferramenta numérica semiautomática para aquisição, condicionamento e tratamento de dados, objetivando a determinação dos parâmetros elétricos de plasmas frios, empregados em processos de corrosão a seco (dry etching). Esta automação consiste na aquisição de dados a partir de um conversor analógico/ digital (A/D) com a ajuda do software LabView e a análise da curva característica de plasmas empregando a técnica de sonda eletrostática para sondas simples através do software Matlab.Não recebi financiamentoporUniversidade Federal de São CarlosCâmpus São CarlosPrograma de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica - PPGEEUFSCarAttribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Brazilhttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/br/info:eu-repo/semantics/openAccessPlasmas friosSonda eletrostáticaAquisiçãoChoque RFMatlabLabviewCold plasmasElectrostatic probeAquisitionRF shockENGENHARIAS::ENGENHARIA ELETRICA::CIRCUITOS ELETRICOS, MAGNETICOS E ELETRONICOSDesenvolvimento de uma ferramenta semi-automática para diagnóstico de plasmas frios aplicados à indústria de semicondutoresDevelopment of a semi-automatic tool for diagnosing cold plasmas applied to the semiconductor industryinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesis600600c0aaede7-d5d7-43b0-8708-a721a0c12ecereponame:Repositório Institucional da UFSCARinstname:Universidade Federal de São Carlos (UFSCAR)instacron:UFSCARCC-LICENSElicense_rdflicense_rdfapplication/rdf+xml; charset=utf-8810https://repositorio.ufscar.br/bitstreams/233877ea-c13d-4480-87bc-12430938aa5d/downloadf337d95da1fce0a22c77480e5e9a7aecMD52falseAnonymousREADORIGINALTCC_RodrigoDosSantosCicareli_Final+CartaAprovacao_v2.pdfTCC_RodrigoDosSantosCicareli_Final+CartaAprovacao_v2.pdfDissertação definitiva com a carta de aprovação a BCoapplication/pdf1803796https://repositorio.ufscar.br/bitstreams/30c443f3-a17b-420b-9e24-e29c07a70d81/downloadbd2ac637cf98b4211ce840ab99247ffcMD51trueAnonymousREADTEXTTCC_RodrigoDosSantosCicareli_Final+CartaAprovacao_v2.pdf.txtTCC_RodrigoDosSantosCicareli_Final+CartaAprovacao_v2.pdf.txtExtracted texttext/plain65363https://repositorio.ufscar.br/bitstreams/22765fd9-1985-4edc-aa3a-8d1360e47993/download7906be10ce23dcabad2677fbeda6547eMD53falseAnonymousREADTHUMBNAILTCC_RodrigoDosSantosCicareli_Final+CartaAprovacao_v2.pdf.jpgTCC_RodrigoDosSantosCicareli_Final+CartaAprovacao_v2.pdf.jpgIM Thumbnailimage/jpeg6997https://repositorio.ufscar.br/bitstreams/44c655df-b89e-44f3-b4b6-fd51901556e9/download5858573cbd33d8e9aad81996e84169c6MD54falseAnonymousREAD20.500.14289/188422025-02-06 00:41:14.601http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/br/Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Brazilopen.accessoai:repositorio.ufscar.br:20.500.14289/18842https://repositorio.ufscar.brRepositório InstitucionalPUBhttps://repositorio.ufscar.br/oai/requestrepositorio.sibi@ufscar.bropendoar:43222025-02-06T03:41:14Repositório Institucional da UFSCAR - Universidade Federal de São Carlos (UFSCAR)false
dc.title.por.fl_str_mv Desenvolvimento de uma ferramenta semi-automática para diagnóstico de plasmas frios aplicados à indústria de semicondutores
dc.title.alternative.eng.fl_str_mv Development of a semi-automatic tool for diagnosing cold plasmas applied to the semiconductor industry
title Desenvolvimento de uma ferramenta semi-automática para diagnóstico de plasmas frios aplicados à indústria de semicondutores
spellingShingle Desenvolvimento de uma ferramenta semi-automática para diagnóstico de plasmas frios aplicados à indústria de semicondutores
Cicareli, Rodrigo dos Santos
Plasmas frios
Sonda eletrostática
Aquisição
Choque RF
Matlab
Labview
Cold plasmas
Electrostatic probe
Aquisition
RF shock
ENGENHARIAS::ENGENHARIA ELETRICA::CIRCUITOS ELETRICOS, MAGNETICOS E ELETRONICOS
title_short Desenvolvimento de uma ferramenta semi-automática para diagnóstico de plasmas frios aplicados à indústria de semicondutores
title_full Desenvolvimento de uma ferramenta semi-automática para diagnóstico de plasmas frios aplicados à indústria de semicondutores
title_fullStr Desenvolvimento de uma ferramenta semi-automática para diagnóstico de plasmas frios aplicados à indústria de semicondutores
title_full_unstemmed Desenvolvimento de uma ferramenta semi-automática para diagnóstico de plasmas frios aplicados à indústria de semicondutores
title_sort Desenvolvimento de uma ferramenta semi-automática para diagnóstico de plasmas frios aplicados à indústria de semicondutores
author Cicareli, Rodrigo dos Santos
author_facet Cicareli, Rodrigo dos Santos
author_role author
dc.contributor.authorlattes.por.fl_str_mv http://lattes.cnpq.br/6433692402255988
dc.contributor.author.fl_str_mv Cicareli, Rodrigo dos Santos
dc.contributor.advisor1.fl_str_mv Cirino, Giuseppe Antonio
dc.contributor.advisor1Lattes.fl_str_mv http://lattes.cnpq.br/4223181147426711
dc.contributor.authorID.fl_str_mv ccb239c6-62d2-4696-a77d-71507350d979
contributor_str_mv Cirino, Giuseppe Antonio
dc.subject.por.fl_str_mv Plasmas frios
Sonda eletrostática
Aquisição
Choque RF
topic Plasmas frios
Sonda eletrostática
Aquisição
Choque RF
Matlab
Labview
Cold plasmas
Electrostatic probe
Aquisition
RF shock
ENGENHARIAS::ENGENHARIA ELETRICA::CIRCUITOS ELETRICOS, MAGNETICOS E ELETRONICOS
dc.subject.eng.fl_str_mv Matlab
Labview
Cold plasmas
Electrostatic probe
Aquisition
RF shock
dc.subject.cnpq.fl_str_mv ENGENHARIAS::ENGENHARIA ELETRICA::CIRCUITOS ELETRICOS, MAGNETICOS E ELETRONICOS
description Technological applications involving plasma processing steps are quite common. With no doubt, the semiconductor industry has a relevant impact on the daily life of contemporary society. The manufacture of integrated circuits is strongly related to the technological domain of plasma assisted processes. Such processes promote deposition and/or etching of thin films, whether metallic or dielectric. Among the various plasma diagnostic techniques, the electrostatic probe (or Langmuir probe) is a versatile and low-cost tool. Through this technique, it is possible to determine electrical parameters of plasma, such as electron and ion density, mean energy of the electron distribution, floating potential and plasma potential [1]. This work intends to develop a semi-automatic numerical tool for data acquisition, conditioning and processing, aiming to determine the electrical parameters of cold plasmas, used in dry etching processes. This automation consists of data acquisition from an analog/digital converter (A/D) with the help of LabView software and the analysis of the characteristic curve of plasmas using the electrostatic probe technique for single probes through Matlab software.
publishDate 2023
dc.date.accessioned.fl_str_mv 2023-10-30T14:07:23Z
dc.date.available.fl_str_mv 2023-10-30T14:07:23Z
dc.date.issued.fl_str_mv 2023-06-23
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/masterThesis
format masterThesis
status_str publishedVersion
dc.identifier.citation.fl_str_mv CICARELI, Rodrigo dos Santos. Desenvolvimento de uma ferramenta semi-automática para diagnóstico de plasmas frios aplicados à indústria de semicondutores. 2023. Dissertação (Mestrado em Engenharia Elétrica) – Universidade Federal de São Carlos, São Carlos, 2023. Disponível em: https://repositorio.ufscar.br/handle/20.500.14289/18842.
dc.identifier.uri.fl_str_mv https://repositorio.ufscar.br/handle/20.500.14289/18842
identifier_str_mv CICARELI, Rodrigo dos Santos. Desenvolvimento de uma ferramenta semi-automática para diagnóstico de plasmas frios aplicados à indústria de semicondutores. 2023. Dissertação (Mestrado em Engenharia Elétrica) – Universidade Federal de São Carlos, São Carlos, 2023. Disponível em: https://repositorio.ufscar.br/handle/20.500.14289/18842.
url https://repositorio.ufscar.br/handle/20.500.14289/18842
dc.language.iso.fl_str_mv por
language por
dc.relation.confidence.fl_str_mv 600
600
dc.relation.authority.fl_str_mv c0aaede7-d5d7-43b0-8708-a721a0c12ece
dc.rights.driver.fl_str_mv Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Brazil
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/br/
info:eu-repo/semantics/openAccess
rights_invalid_str_mv Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Brazil
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/br/
eu_rights_str_mv openAccess
dc.publisher.none.fl_str_mv Universidade Federal de São Carlos
Câmpus São Carlos
dc.publisher.program.fl_str_mv Programa de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica - PPGEE
dc.publisher.initials.fl_str_mv UFSCar
publisher.none.fl_str_mv Universidade Federal de São Carlos
Câmpus São Carlos
dc.source.none.fl_str_mv reponame:Repositório Institucional da UFSCAR
instname:Universidade Federal de São Carlos (UFSCAR)
instacron:UFSCAR
instname_str Universidade Federal de São Carlos (UFSCAR)
instacron_str UFSCAR
institution UFSCAR
reponame_str Repositório Institucional da UFSCAR
collection Repositório Institucional da UFSCAR
bitstream.url.fl_str_mv https://repositorio.ufscar.br/bitstreams/233877ea-c13d-4480-87bc-12430938aa5d/download
https://repositorio.ufscar.br/bitstreams/30c443f3-a17b-420b-9e24-e29c07a70d81/download
https://repositorio.ufscar.br/bitstreams/22765fd9-1985-4edc-aa3a-8d1360e47993/download
https://repositorio.ufscar.br/bitstreams/44c655df-b89e-44f3-b4b6-fd51901556e9/download
bitstream.checksum.fl_str_mv f337d95da1fce0a22c77480e5e9a7aec
bd2ac637cf98b4211ce840ab99247ffc
7906be10ce23dcabad2677fbeda6547e
5858573cbd33d8e9aad81996e84169c6
bitstream.checksumAlgorithm.fl_str_mv MD5
MD5
MD5
MD5
repository.name.fl_str_mv Repositório Institucional da UFSCAR - Universidade Federal de São Carlos (UFSCAR)
repository.mail.fl_str_mv repositorio.sibi@ufscar.br
_version_ 1851688804823334912

Registros relacionados