Desenvolvimento de filmes finos de óxidos condutores e transparentes de ZnO para aplicação em células solares.

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 2007
Autor(a) principal: Sabino, Milena Emerenciano Luz
Orientador(a): Branco, José Roberto Tavares
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Dissertação
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: Programa de Pós-Graduação em Engenharia de Materiais. Rede Temática em Engenharia de Materiais, Pró-Reitoria de Pesquisa e Pós-Graduação, Universidade Federal de Ouro Preto.
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
Link de acesso: http://www.repositorio.ufop.br/handle/123456789/2905
Resumo: Neste trabalho foram desenvolvidos filmes condutores e transparentes de óxido de zinco (ZnO) sem dopagem, com transmitância e condutividade elétrica adequadas para aplicação como contato frontal de células fotovoltaicas. Devido à sua estabilidade química, boas propriedades ópticas e elétricas, largo band gap, abundância na natureza e baixa toxicidade, filmes finos de ZnO são atualmente os materiais mais utilizados como óxido condutores e transparentes. Os filmes foram produzidos por evaporação reativa, por feixe de elétrons e com assistência de plasma de argônio mais oxigênio. Usou-se também pulverização catódica reativa, com corrente contínua (sputtering D.C.) e alvo de zinco, em atmosfera de argônio e oxigênio. Para o desenvolvimento dos parâmetros, usou-se como principais variáveis dependentes a resistividade elétrica e a transmitância na região do visível dos filmes. Como variáveis independentes usou-se potência de sputtering, pressão parcial de oxigênio e temperatura de substrato. O tratamento termoquímico utilizando atmosfera de oxigênio resultou no aumento da transmitância na região do visível e da resistividade elétrica dos filmes produzidos por feixe de elétrons. Os parâmetros críticos para obtenção de um bom compromisso entre a resistividade e a transmitância foram obtidos controlando a pressão parcial de oxigênio entre 0,083 e 2,8x10-3mbar. Com isso foi possível obter filmes de ZnO com transmitância de 78% e baixa resistividade de 1,13.10-1 Ω.cm pela técnica de sputtering D.C.
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Usou-se também pulverização catódica reativa, com corrente contínua (sputtering D.C.) e alvo de zinco, em atmosfera de argônio e oxigênio. Para o desenvolvimento dos parâmetros, usou-se como principais variáveis dependentes a resistividade elétrica e a transmitância na região do visível dos filmes. Como variáveis independentes usou-se potência de sputtering, pressão parcial de oxigênio e temperatura de substrato. O tratamento termoquímico utilizando atmosfera de oxigênio resultou no aumento da transmitância na região do visível e da resistividade elétrica dos filmes produzidos por feixe de elétrons. Os parâmetros críticos para obtenção de um bom compromisso entre a resistividade e a transmitância foram obtidos controlando a pressão parcial de oxigênio entre 0,083 e 2,8x10-3mbar. Com isso foi possível obter filmes de ZnO com transmitância de 78% e baixa resistividade de 1,13.10-1 Ω.cm pela técnica de sputtering D.C.Neste trabalho foram desenvolvidos filmes finos condutores e transparentes de óxido de zinco (ZnO) sem dopagem, com transmitância e condutividade elétrica adequadas para aplicação como contato frontal de células fotovoltaicas. Devido à sua estabilidade química, boas propriedades ópticas e elétricas, largo band gap, abundância na natureza e baixa toxicidade, filmes finos de ZnO são atualmente os materiais mais utilizados como óxido condutores e transparentes. Os filmes foram produzidos por evaporação reativa, por feixe de elétrons e com assistência de plasma de argônio mais oxigênio. Usou-se também pulverização catódica reativa, com corrente contínua (sputtering D.C.) e alvo de zinco, em atmosfera de argônio e oxigênio. 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Rede Temática em Engenharia de Materiais, Pró-Reitoria de Pesquisa e Pós-Graduação, Universidade Federal de Ouro Preto.Células solaresFilmes finosÓxido de zincoDeposição física de vaporDesenvolvimento de filmes finos de óxidos condutores e transparentes de ZnO para aplicação em células solares.info:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisporreponame:Repositório Institucional da UFOPinstname:Universidade Federal de Ouro Preto (UFOP)instacron:UFOPinfo:eu-repo/semantics/openAccessLICENSElicense.txtlicense.txttext/plain; charset=utf-81748https://www.repositorio.ufop.br/bitstreams/462fc916-262c-403c-a883-25b373696bc9/download8a4605be74aa9ea9d79846c1fba20a33MD52falseAnonymousREADORIGINALDISSERTAÇÃO_ DesenvolvimentoFilmesFinos.pdfDISSERTAÇÃO_ DesenvolvimentoFilmesFinos.pdfapplication/pdf3877020https://www.repositorio.ufop.br/bitstreams/6f125c6c-4aaa-4753-92a7-8e8b09fa3bcd/download1333cc2b99e9aa10995b1f148bc52d77MD51trueAnonymousREADTHUMBNAILDISSERTAÇÃO_ DesenvolvimentoFilmesFinos.pdf.jpgDISSERTAÇÃO_ DesenvolvimentoFilmesFinos.pdf.jpgGenerated Thumbnailimage/jpeg4739https://www.repositorio.ufop.br/bitstreams/ad7f66cd-ceda-48dd-b0ea-ec96a8f8aef3/download715bbd9bc1e387e3e485ba95cb8fe216MD53falseAnonymousREAD123456789/29052024-11-11 02:27:16.792open.accessoai:repositorio.ufop.br:123456789/2905https://www.repositorio.ufop.brRepositório InstitucionalPUBhttp://www.repositorio.ufop.br/oai/requestrepositorio@ufop.edu.bropendoar:32332024-11-11T05:27:16Repositório Institucional da UFOP - Universidade Federal de Ouro Preto (UFOP)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