Propriedades supercondutoras de filmes finos de Nb depositados por magnetron sputtering

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 1996
Autor(a) principal: ROLIM, Ana Luiza de Souza
Orientador(a): Não Informado pela instituição
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Dissertação
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: Universidade Federal de Pernambuco
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
Magnetron sputtering
Supercondutividade
Filmes finos
Link de acesso: https://repositorio.ufpe.br/handle/123456789/6538
Resumo: Neste trabalho é estudado a deposição de filmes finos metálicos e refratários por magnetron sputtering utilizando-se tanto de uma fonte de como rf. Os pontos ótimos de trabalho foram determinados em função da pressão na câmara de deposição e da potência das fontes para os seguintes materiais: Nb, Ti, Mo, W e Si, obtendo assim um treinamento na utilização da máquina de deposição ao mesmo tempo que preparando-a para futuros usuários. Especial atenção é dada à deposição e caracterização de filmes finos de Nb com espessura entre 300 Å e 10000 Å. As características supercondutoras destes filmes são analisadas através de medidas de susceptibilidade ac, magnetização dc e da razão de resistência. O diagrama de fase campo magnético temperatura (H-T), obtido de seqüências de esfriamento a campo nulo (ZFC) e em campo (FC), revela uma forte dependência da linha de irreversibilidade com a espessura do filme. Em filmes mais finos a região de irreversibilidade diminui. Este efeito é atribuído a danos superficiais causados por tensões ou por defeitos
id UFPE_79de4b28d7b5eb82f2ff2e4e552c0d7b
oai_identifier_str oai:repositorio.ufpe.br:123456789/6538
network_acronym_str UFPE
network_name_str Repositório Institucional da UFPE
repository_id_str
spelling Propriedades supercondutoras de filmes finos de Nb depositados por magnetron sputteringMagnetron sputteringSupercondutividadeFilmes finosNeste trabalho é estudado a deposição de filmes finos metálicos e refratários por magnetron sputtering utilizando-se tanto de uma fonte de como rf. Os pontos ótimos de trabalho foram determinados em função da pressão na câmara de deposição e da potência das fontes para os seguintes materiais: Nb, Ti, Mo, W e Si, obtendo assim um treinamento na utilização da máquina de deposição ao mesmo tempo que preparando-a para futuros usuários. Especial atenção é dada à deposição e caracterização de filmes finos de Nb com espessura entre 300 Å e 10000 Å. As características supercondutoras destes filmes são analisadas através de medidas de susceptibilidade ac, magnetização dc e da razão de resistência. O diagrama de fase campo magnético temperatura (H-T), obtido de seqüências de esfriamento a campo nulo (ZFC) e em campo (FC), revela uma forte dependência da linha de irreversibilidade com a espessura do filme. Em filmes mais finos a região de irreversibilidade diminui. Este efeito é atribuído a danos superficiais causados por tensões ou por defeitosConselho Nacional de Desenvolvimento Científico e TecnológicoUniversidade Federal de PernambucoAGUIAR, Jose Albino Oliveira deROLIM, Ana Luiza de Souza2014-06-12T18:05:51Z2014-06-12T18:05:51Z1996info:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisapplication/pdfLuiza de Souza Rolim, Ana; Albino Oliveira de Aguiar, Jose. Propriedades supercondutoras de filmes finos de Nb depositados por magnetron sputtering. 1996. Dissertação (Mestrado). Programa de Pós-Graduação em Física, Universidade Federal de Pernambuco, Recife, 1996.https://repositorio.ufpe.br/handle/123456789/6538porAttribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Brazilhttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/br/info:eu-repo/semantics/openAccessreponame:Repositório Institucional da UFPEinstname:Universidade Federal de Pernambuco (UFPE)instacron:UFPE2019-10-25T21:21:51Zoai:repositorio.ufpe.br:123456789/6538Repositório InstitucionalPUBhttps://repositorio.ufpe.br/oai/requestattena@ufpe.bropendoar:22212019-10-25T21:21:51Repositório Institucional da UFPE - Universidade Federal de Pernambuco (UFPE)false
dc.title.none.fl_str_mv Propriedades supercondutoras de filmes finos de Nb depositados por magnetron sputtering
title Propriedades supercondutoras de filmes finos de Nb depositados por magnetron sputtering
spellingShingle Propriedades supercondutoras de filmes finos de Nb depositados por magnetron sputtering
ROLIM, Ana Luiza de Souza
Magnetron sputtering
Supercondutividade
Filmes finos
title_short Propriedades supercondutoras de filmes finos de Nb depositados por magnetron sputtering
title_full Propriedades supercondutoras de filmes finos de Nb depositados por magnetron sputtering
title_fullStr Propriedades supercondutoras de filmes finos de Nb depositados por magnetron sputtering
title_full_unstemmed Propriedades supercondutoras de filmes finos de Nb depositados por magnetron sputtering
title_sort Propriedades supercondutoras de filmes finos de Nb depositados por magnetron sputtering
author ROLIM, Ana Luiza de Souza
author_facet ROLIM, Ana Luiza de Souza
author_role author
dc.contributor.none.fl_str_mv AGUIAR, Jose Albino Oliveira de
dc.contributor.author.fl_str_mv ROLIM, Ana Luiza de Souza
dc.subject.por.fl_str_mv Magnetron sputtering
Supercondutividade
Filmes finos
topic Magnetron sputtering
Supercondutividade
Filmes finos
description Neste trabalho é estudado a deposição de filmes finos metálicos e refratários por magnetron sputtering utilizando-se tanto de uma fonte de como rf. Os pontos ótimos de trabalho foram determinados em função da pressão na câmara de deposição e da potência das fontes para os seguintes materiais: Nb, Ti, Mo, W e Si, obtendo assim um treinamento na utilização da máquina de deposição ao mesmo tempo que preparando-a para futuros usuários. Especial atenção é dada à deposição e caracterização de filmes finos de Nb com espessura entre 300 Å e 10000 Å. As características supercondutoras destes filmes são analisadas através de medidas de susceptibilidade ac, magnetização dc e da razão de resistência. O diagrama de fase campo magnético temperatura (H-T), obtido de seqüências de esfriamento a campo nulo (ZFC) e em campo (FC), revela uma forte dependência da linha de irreversibilidade com a espessura do filme. Em filmes mais finos a região de irreversibilidade diminui. Este efeito é atribuído a danos superficiais causados por tensões ou por defeitos
publishDate 1996
dc.date.none.fl_str_mv 1996
2014-06-12T18:05:51Z
2014-06-12T18:05:51Z
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/masterThesis
format masterThesis
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv Luiza de Souza Rolim, Ana; Albino Oliveira de Aguiar, Jose. Propriedades supercondutoras de filmes finos de Nb depositados por magnetron sputtering. 1996. Dissertação (Mestrado). Programa de Pós-Graduação em Física, Universidade Federal de Pernambuco, Recife, 1996.
https://repositorio.ufpe.br/handle/123456789/6538
identifier_str_mv Luiza de Souza Rolim, Ana; Albino Oliveira de Aguiar, Jose. Propriedades supercondutoras de filmes finos de Nb depositados por magnetron sputtering. 1996. Dissertação (Mestrado). Programa de Pós-Graduação em Física, Universidade Federal de Pernambuco, Recife, 1996.
url https://repositorio.ufpe.br/handle/123456789/6538
dc.language.iso.fl_str_mv por
language por
dc.rights.driver.fl_str_mv Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Brazil
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/br/
info:eu-repo/semantics/openAccess
rights_invalid_str_mv Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Brazil
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/br/
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
dc.publisher.none.fl_str_mv Universidade Federal de Pernambuco
publisher.none.fl_str_mv Universidade Federal de Pernambuco
dc.source.none.fl_str_mv reponame:Repositório Institucional da UFPE
instname:Universidade Federal de Pernambuco (UFPE)
instacron:UFPE
instname_str Universidade Federal de Pernambuco (UFPE)
instacron_str UFPE
institution UFPE
reponame_str Repositório Institucional da UFPE
collection Repositório Institucional da UFPE
repository.name.fl_str_mv Repositório Institucional da UFPE - Universidade Federal de Pernambuco (UFPE)
repository.mail.fl_str_mv attena@ufpe.br
_version_ 1856041979836628992

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