Caracterização de Si implantado com altas doses de oxigenio atraves de microscopia otica de interferencia e ataque quimico

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 1991
Autor(a) principal: Serbena, Francisco Carlos
Orientador(a): Dumke, Vicente Roberto, 1940-
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Dissertação
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: Não Informado pela instituição
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
Fisica do estado solido
Teses
Fisica
Link de acesso: https://hdl.handle.net/1884/36949
Resumo: Orientador: Vicente Roberto Dumke
id UFPR_c16e430bfcda91b55131800946b0779e
oai_identifier_str oai:acervodigital.ufpr.br:1884/36949
network_acronym_str UFPR
network_name_str Repositório Institucional da UFPR
repository_id_str
spelling Serbena, Francisco CarlosUniversidade Federal do Paraná. Setor de Ciências Exatas. Programa de Pós-Graduação em FísicaDumke, Vicente Roberto, 1940-2022-08-10T17:01:41Z2022-08-10T17:01:41Z1991https://hdl.handle.net/1884/36949Orientador: Vicente Roberto DumkeDissertação (mestrado) - Universidade Federal do Parana, Setor de Ciencias ExatasResumo: A implantação de íons de O + em Si produz modificações em suas propriedades mecânicas, químicas e óticas. Usando técnicas de microscopia ótica de interferência e de ataque químico, observa-se um padrão de dissolução característico na fronteira da região implantada, revelando a existência de uma microestrutura nesta região. Esta está relacionada a efeitos de mascaramento, difusão do oxigênio, surgimento de defeitos e precipitados de SiO2 e a existência de tensões . As modificações na topografia de superfície assim como a criação de defeitos após tratamentos térmicos em alta temperatura também foram estudadas.Abstract: The high dose O + implantation in Si monocrystals changes the mechanical, chemical and optical properties of the bulk. Using optical interference microscopy and chemical etching, a characteristic dissolution pattern is observed in the implanted region boundary. This microstructure is related with conditions such as ion implantation mask, oxygen diffusion, defects and SiO2 precipitates and stress field. The modifications in surface topography and defects production by high temperature annealing are described too.iii, 68 f. : il. ; 30 cm.application/pdfDisponível em formato digitalFisica do estado solidoTesesFisicaCaracterização de Si implantado com altas doses de oxigenio atraves de microscopia otica de interferencia e ataque quimicoinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisporreponame:Repositório Institucional da UFPRinstname:Universidade Federal do Paraná (UFPR)instacron:UFPRinfo:eu-repo/semantics/openAccessORIGINALD - FRANCISCO CARLOS SERBENA.pdfapplication/pdf4243867https://acervodigital.ufpr.br/bitstream/1884/36949/1/D%20-%20FRANCISCO%20CARLOS%20SERBENA.pdfe214368c6a2ea339bcefa4d61606cfd4MD51open accessTEXTD - FRANCISCO CARLOS SERBENA.pdf.txtExtracted Texttext/plain120030https://acervodigital.ufpr.br/bitstream/1884/36949/2/D%20-%20FRANCISCO%20CARLOS%20SERBENA.pdf.txt42d3309a959ab992b61191f0285890f4MD52open accessTHUMBNAILD - FRANCISCO CARLOS SERBENA.pdf.jpgGenerated Thumbnailimage/jpeg1228https://acervodigital.ufpr.br/bitstream/1884/36949/3/D%20-%20FRANCISCO%20CARLOS%20SERBENA.pdf.jpg7d702f6769824b857cca562fa6f6265dMD53open access1884/369492022-08-10 14:01:41.714open accessoai:acervodigital.ufpr.br:1884/36949Repositório de PublicaçõesPUBhttp://acervodigital.ufpr.br/oai/requestopendoar:3082022-08-10T17:01:41Repositório Institucional da UFPR - Universidade Federal do Paraná (UFPR)false
dc.title.pt_BR.fl_str_mv Caracterização de Si implantado com altas doses de oxigenio atraves de microscopia otica de interferencia e ataque quimico
title Caracterização de Si implantado com altas doses de oxigenio atraves de microscopia otica de interferencia e ataque quimico
spellingShingle Caracterização de Si implantado com altas doses de oxigenio atraves de microscopia otica de interferencia e ataque quimico
Serbena, Francisco Carlos
Fisica do estado solido
Teses
Fisica
title_short Caracterização de Si implantado com altas doses de oxigenio atraves de microscopia otica de interferencia e ataque quimico
title_full Caracterização de Si implantado com altas doses de oxigenio atraves de microscopia otica de interferencia e ataque quimico
title_fullStr Caracterização de Si implantado com altas doses de oxigenio atraves de microscopia otica de interferencia e ataque quimico
title_full_unstemmed Caracterização de Si implantado com altas doses de oxigenio atraves de microscopia otica de interferencia e ataque quimico
title_sort Caracterização de Si implantado com altas doses de oxigenio atraves de microscopia otica de interferencia e ataque quimico
author Serbena, Francisco Carlos
author_facet Serbena, Francisco Carlos
author_role author
dc.contributor.other.pt_BR.fl_str_mv Universidade Federal do Paraná. Setor de Ciências Exatas. Programa de Pós-Graduação em Física
dc.contributor.author.fl_str_mv Serbena, Francisco Carlos
dc.contributor.advisor1.fl_str_mv Dumke, Vicente Roberto, 1940-
contributor_str_mv Dumke, Vicente Roberto, 1940-
dc.subject.por.fl_str_mv Fisica do estado solido
Teses
Fisica
topic Fisica do estado solido
Teses
Fisica
description Orientador: Vicente Roberto Dumke
publishDate 1991
dc.date.issued.fl_str_mv 1991
dc.date.accessioned.fl_str_mv 2022-08-10T17:01:41Z
dc.date.available.fl_str_mv 2022-08-10T17:01:41Z
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/masterThesis
format masterThesis
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv https://hdl.handle.net/1884/36949
url https://hdl.handle.net/1884/36949
dc.language.iso.fl_str_mv por
language por
dc.relation.pt_BR.fl_str_mv Disponível em formato digital
dc.rights.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv iii, 68 f. : il. ; 30 cm.
application/pdf
dc.source.none.fl_str_mv reponame:Repositório Institucional da UFPR
instname:Universidade Federal do Paraná (UFPR)
instacron:UFPR
instname_str Universidade Federal do Paraná (UFPR)
instacron_str UFPR
institution UFPR
reponame_str Repositório Institucional da UFPR
collection Repositório Institucional da UFPR
bitstream.url.fl_str_mv https://acervodigital.ufpr.br/bitstream/1884/36949/1/D%20-%20FRANCISCO%20CARLOS%20SERBENA.pdf
https://acervodigital.ufpr.br/bitstream/1884/36949/2/D%20-%20FRANCISCO%20CARLOS%20SERBENA.pdf.txt
https://acervodigital.ufpr.br/bitstream/1884/36949/3/D%20-%20FRANCISCO%20CARLOS%20SERBENA.pdf.jpg
bitstream.checksum.fl_str_mv e214368c6a2ea339bcefa4d61606cfd4
42d3309a959ab992b61191f0285890f4
7d702f6769824b857cca562fa6f6265d
bitstream.checksumAlgorithm.fl_str_mv MD5
MD5
MD5
repository.name.fl_str_mv Repositório Institucional da UFPR - Universidade Federal do Paraná (UFPR)
repository.mail.fl_str_mv
_version_ 1793438333293035520

Registros relacionados